INTECS英特斯晶圆截面形状测定装置

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产品详细介绍

 该设备可无损测量半导体晶片的横截面尺寸,并且可以测量边缘尺寸、角度和半径。

可测量的晶圆尺寸约为2至12英寸,晶圆更换工作很容易。
使用摄像管型半导体晶圆截面形状测量装置(VSSW)的客户的福音!!
我们已经启动了一项服务,通过重复使用外部金属板和更换内部电气元件来提供与最新系统类似的功能。
价格比购买新产品便宜。
如需了解更多信息,请填写以下信息并通过电子邮件与我们联系。
 
测量范围

最大厚度约2000μm(*1)
深度约1500μm

展示 19英寸液晶显示屏
有效显示像素数 768×494
数据存储介质 SD内存
操作方法 操纵杆、开关
测量功能 尺寸、角度、半径
判断方法 专用参考图案
印刷方式 打印机(*可选)
使用环境

环境温度:10-30℃
湿度:80%以下,非凝露环境
强磁、强振动、无尘环境

电源 AC100V±10% 50/60Hz 150W(不含打印机)

 

尺寸测量 通过指定两个测量点,可以测量两点之间的垂直和水平尺寸(倒角深度、倒角)。
角度测量 可以通过指定两个测量点来测量倒角角度。
半径测量 通过指定三个测量点,可以测量连接这三个点的圆的半径。
批量测量 通过指定四个测量点,可以测量左倒角深度、右倒角深度、左倒角、右倒角、总厚度、剩余倒角厚度、左倒角角度和右倒角角度。